精密機械加工是在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下，使用精密機床和精密量具和量儀來實現(xiàn)的。加工精度達到和超過 0.1微米稱超精密機械加工。工藝系統(tǒng)中如果工件剛度相對于機床、刀具、夾具來說比較低，在切削力的作用下，工件由于剛度不足而引起的變形對加工精度的影響就比較大。主軸回轉(zhuǎn)誤差是指主軸各瞬間的實際回轉(zhuǎn)軸線相對其平均回轉(zhuǎn)軸線的變動量，它將直接影響被加工工件的精度。

微機械由于具有能夠在狹小空間內(nèi)進行作業(yè)，而又不擾亂工作環(huán)境和對象的特點，在航空航天、儀器、生物等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用潛力，并成為納米技術(shù)研究的重要手段，因而受到高度重視并被列為21世紀(jì)關(guān)鍵技術(shù)。和超加工時現(xiàn)代機械加工制造技術(shù)的一個重要組成部分，是衡量一個國家高科技制造業(yè)水平高低的重要指標(biāo)之一。進行大型機械加工，其肯定是會用到一些加工設(shè)備，而從角度來講，其所使用的加工設(shè)備很重要，因為它關(guān)系到成品的加工質(zhì)量和設(shè)備的加工效果。

加工時工件定位所用的基準(zhǔn)，稱為定位基準(zhǔn)。作為定位基準(zhǔn)的表面（或線、點），在道工序中只能選擇未加工的毛坯表面，這種定位表面稱粗基準(zhǔn).在以后的各個工序中就可采用已加工表面作為定位基準(zhǔn)，這種定位表面稱精基準(zhǔn)。在機械加工中，如果進行工藝規(guī)程設(shè)計的話，其是有一些設(shè)計原則的，其主要是為：一是所設(shè)計的工藝規(guī)程能夠讓零部件或工件有好的加工質(zhì)量，并能夠達到設(shè)計圖樣上所規(guī)定的各項技術(shù)要求。加工需要的機械由數(shù)顯銑床、數(shù)顯成型磨床、數(shù)顯車床、電火花機、磨床、加工中心、激光焊接、中走絲、快走絲、慢走絲、外圓磨床、內(nèi)圓磨床、車床等，可進行零件的車、銑、刨、磨等加工， 此類機械擅長零件的車、銑、刨、磨等加工，可以加工各種不規(guī)則形狀零件，加工精度可達2μm。